재료에 전자기파를 투과시키면 원자가 에너지를 흡수하여 여기상태(Excited State)로 되었다가 기저상태(Grounded State)로 되돌아 올 때
원자 고유의 특성X-선을 발하는데 분석 대살 물질의 고유의 특성X-선을 반도체 검출기(SI-PIN)를 이용하여 분석한다.
이 방법은 미지시료의 Spectrum Pattern과 이미 알고 있는 물질의 Spectrum Pattern등을 비교하여 전자 중에 후자의 Pattern이
포함되어 있으면,전자에는 후자의 물질이 함유되어 있다고 판정하는 방법이다.

 

• 단순하게 원소에 대한 정성분석이 아니고, 화합물의 형태로 측정된다.
• 구성원소의 상태를 알 수 있다.
• 시료는 소량으로도 좋으며, 시료조정이 비교적 간단하고, 측정하는것으로 의해 손상되지 않는다.(비파괴적 분석)
• 시료가 분말로 되어 있거나, 그 형상은 판 형상, 괴상, 선상 등의 어떤 모양이든지 측정가능하다.

 

• Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Zr, Nb, Cd, Mo, Hf, Ta, Re, W, Pb, Bi